為確保最優(yōu)的鍵合工藝參數(shù)能夠滿足產品的批生產要求,在產品裝配合格后隨機抽取 10 根金絲進行抗拉強度檢測,金絲抗拉強度值范圍為 9.07~12.21gf。批產試驗產品最優(yōu)鍵合工藝參數(shù)可以滿足批產質量要求。
金絲鍵合作為集成電路封裝過程中的關鍵工序,用于完成集成電路封裝中芯片與基板、基板與殼體間的電氣互連。引線鍵合技術根據(jù)鍵合方法可分為楔形鍵合和球型鍵合。球焊鍵合方向靈活、可靠性高,楔焊鍵合可實現(xiàn)最小拱弧且單個焊點占用面積小,在集成電路封裝過程中均有應用。一個模塊中有大量金絲,一根金絲失效都會影響模塊甚至整機系統(tǒng)的正常運作,因此,控制并提高鍵合金絲質量尤為重要。行業(yè)一般使用芯片推拉力測試機檢驗。
金絲鍵合失效主要包括:金絲線弧過長引起的金絲塌陷短路、金絲過緊引起的頸縮點斷裂、鍵合參數(shù)過大引起的金絲焊點變形量從而引發(fā)的斷裂、鍵合參數(shù)過小引起的金絲焊點壓焊不牢。在實際生產中,鍵合參數(shù)對金絲質量的影響較大,因此,對金絲拉力及焊點性能的檢測,從而確定最佳的工藝參數(shù)。其中測試設備的關鍵部件有夾具,需要根據(jù)樣品或圖紙按產品設計治具。
芯片推拉力測試機用緊固夾具
推拉力測試用緊固夾具,包括夾具以及夾板,夾板設置在夾具上,夾具本體與夾板之間形成有用于固定芯片基板的容置空間,容置空間的頂部具有可供芯片基板露出的開口;
緊固組件,用于將夾板固定在夾具的選定位置處,而使容置空間的寬度可調;
調節(jié)組件,包括調節(jié)板和驅動機構, 能夠在驅動機構的驅使下沿第二方向運動,而使調節(jié)板與容置空間的開口之間的距離可調。
提供的推拉力測試用緊固夾具,不僅能夠對芯片基板進行夾持,便于其直接進行檢測,同時此種夾具可靈活調整,適配性高,操作簡單。
夾具,適用推拉力測試用緊固夾具,屬于半導體手動作業(yè)工具技術領域。
近年來,隨著光電技術,電子技術在半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,探測器技術在不同領域中得到越來越多、越來越廣泛的應用。檢驗探測器推拉力是否合格是描述器件的關鍵參數(shù),推拉力值與器件材料、表面金屬蒸鍍有關。目前對探測器的測試能力大多集中在封裝后的模塊端,對于芯片制造端的測試鮮有提及。對于芯片基板的常規(guī)測試,需將其封裝成T0模塊,從而進行測試,不僅無法實現(xiàn)對芯片基板的直接測試,且封裝操作較為繁瑣,致使測試工序工時較長。金絲鍵合技術是微電子領域的封裝技術,一般采用金線,利用熱、壓、超聲共同作用,完成微電子器件中電路內部連接,即芯片和電路或者引線框架之間的互連。根據(jù)鍵合強度拉力值確定鍵合的最佳工藝參數(shù)范圍。