為確保最優(yōu)的鍵合工藝參數(shù)能夠滿足產(chǎn)品的批生產(chǎn)要求,在產(chǎn)品裝配合格后隨機(jī)抽取 10 根金絲進(jìn)行抗拉強(qiáng)度檢測(cè),金絲抗拉強(qiáng)度值范圍為 9.07~12.21gf。批產(chǎn)試驗(yàn)產(chǎn)品最優(yōu)鍵合工藝參數(shù)可以滿足批產(chǎn)質(zhì)量要求。
金絲鍵合作為集成電路封裝過(guò)程中的關(guān)鍵工序,用于完成集成電路封裝中芯片與基板、基板與殼體間的電氣互連。引線鍵合技術(shù)根據(jù)鍵合方法可分為楔形鍵合和球型鍵合。球焊鍵合方向靈活、可靠性高,楔焊鍵合可實(shí)現(xiàn)最小拱弧且單個(gè)焊點(diǎn)占用面積小,在集成電路封裝過(guò)程中均有應(yīng)用。一個(gè)模塊中有大量金絲,一根金絲失效都會(huì)影響模塊甚至整機(jī)系統(tǒng)的正常運(yùn)作,因此,控制并提高鍵合金絲質(zhì)量尤為重要。行業(yè)一般使用芯片推拉力測(cè)試機(jī)檢驗(yàn)。
金絲鍵合失效主要包括:金絲線弧過(guò)長(zhǎng)引起的金絲塌陷短路、金絲過(guò)緊引起的頸縮點(diǎn)斷裂、鍵合參數(shù)過(guò)大引起的金絲焊點(diǎn)變形量從而引發(fā)的斷裂、鍵合參數(shù)過(guò)小引起的金絲焊點(diǎn)壓焊不牢。在實(shí)際生產(chǎn)中,鍵合參數(shù)對(duì)金絲質(zhì)量的影響較大,因此,對(duì)金絲拉力及焊點(diǎn)性能的檢測(cè),從而確定最佳的工藝參數(shù)。其中測(cè)試設(shè)備的關(guān)鍵部件有夾具,需要根據(jù)樣品或圖紙按產(chǎn)品設(shè)計(jì)治具。
芯片推拉力測(cè)試機(jī)用緊固夾具
推拉力測(cè)試用緊固夾具,包括夾具以及夾板,夾板設(shè)置在夾具上,夾具本體與夾板之間形成有用于固定芯片基板的容置空間,容置空間的頂部具有可供芯片基板露出的開口;
緊固組件,用于將夾板固定在夾具的選定位置處,而使容置空間的寬度可調(diào);
調(diào)節(jié)組件,包括調(diào)節(jié)板和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu), 能夠在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)使下沿第二方向運(yùn)動(dòng),而使調(diào)節(jié)板與容置空間的開口之間的距離可調(diào)。
提供的推拉力測(cè)試用緊固夾具,不僅能夠?qū)π酒暹M(jìn)行夾持,便于其直接進(jìn)行檢測(cè),同時(shí)此種夾具可靈活調(diào)整,適配性高,操作簡(jiǎn)單。
夾具,適用推拉力測(cè)試用緊固夾具,屬于半導(dǎo)體手動(dòng)作業(yè)工具技術(shù)領(lǐng)域。
近年來(lái),隨著光電技術(shù),電子技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,探測(cè)器技術(shù)在不同領(lǐng)域中得到越來(lái)越多、越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。檢驗(yàn)探測(cè)器推拉力是否合格是描述器件的關(guān)鍵參數(shù),推拉力值與器件材料、表面金屬蒸鍍有關(guān)。目前對(duì)探測(cè)器的測(cè)試能力大多集中在封裝后的模塊端,對(duì)于芯片制造端的測(cè)試鮮有提及。對(duì)于芯片基板的常規(guī)測(cè)試,需將其封裝成T0模塊,從而進(jìn)行測(cè)試,不僅無(wú)法實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片基板的直接測(cè)試,且封裝操作較為繁瑣,致使測(cè)試工序工時(shí)較長(zhǎng)。金絲鍵合技術(shù)是微電子領(lǐng)域的封裝技術(shù),一般采用金線,利用熱、壓、超聲共同作用,完成微電子器件中電路內(nèi)部連接,即芯片和電路或者引線框架之間的互連。根據(jù)鍵合強(qiáng)度拉力值確定鍵合的最佳工藝參數(shù)范圍。