該設備主要用于手機顯示模組及有關產(chǎn)品的觀察及尺寸測量。將工件放于顯微鏡下,使用不同的物鏡對產(chǎn)品進行觀察,對需要測量的位置使用帶光柵的高精密移動平臺結合數(shù)據(jù)處理軟件進行尺寸測量,使用數(shù)字相機進行實時影像處理、觀察以及拍照,實現(xiàn)對產(chǎn)品的尺寸以及外觀檢查。
測量顯微鏡結合了金相顯微鏡的高倍觀察能力,和影像測量儀的X、Y、Z軸表面尺寸測量功能,具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能。
可廣泛應用于半導體、PCB、LCD、手機產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎電子、模具五金、醫(yī)療器械、汽車行業(yè)、計量行業(yè)等領域的檢測。
覆蓋范圍廣:兼容多種測量和觀察需求
可操作性:操作更簡單、更高效
高度測量:實現(xiàn)對樣品表面凹凸的高精度測量
測量支持系統(tǒng):對復雜形狀也能簡單、高精度地測量
設備測試參數(shù):
設備型號 | LB-200 |
外形尺寸 | 700*800*800mm |
設備重量 | 85KG |
玻璃尺寸 | 230*160mm |
載物臺尺寸 | 3580*258mm |
行程 | 200*100*150mm |
光柵尺分辨率 | Z軸分辨率±0.1um;XY軸±0.5um(可選配±0.1um) |
光學系統(tǒng) | 無限遠光學系統(tǒng) |
移動方式 | 手動 |
物鏡 | 5X,10X,20X,50X |
目鏡 | 10X |
視野圖像 | 反像 |
觀察方法 | 明場/暗場自由切換 |
表面光源/底部光源 | 3W/LED同軸光源 |
XYZ定位精準度 | ±0.1um |
XYZ重復精度 | ±0.1um |
XY測量精度 | (3+L/100)um,“L”為被測量長度 |
Z測量精度 | (3+L/25)um,“L”為被測量高度 |
數(shù)顯器功能 | RS232輸出,XYZ清零/分中,公英制轉換,精度校正 |
Z軸控制器 | 高精度同軸搖輪控制上下移動 |
Z軸定位精度 | ±0.1um |
工作電壓 | AC220V |
額定功率 | 100W |
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